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關(guān)于精密零部件加工研磨和拋光
在精密零部件加工的時(shí)候，有一個(gè)環(huán)節(jié)比較重要，那就是研磨和拋光。研磨和拋光加工史久，應(yīng)用廣且又在不斷的發(fā)展加工方法。古代研磨與拋光用于擦光寶石、銅鏡等，近代用于加工各個(gè)精密零部件，如硅基片、透鏡、反射鏡和棱鏡等精密零部件。近期的發(fā)展趨勢是加工對象從加工金屬。玻璃等轉(zhuǎn)化為用于X射光的光學(xué)元件(反射鏡、透鏡、分光鏡等)、電子工業(yè)的各個(gè)功能陶瓷元器件材料的加工。
在現(xiàn)代微電子、信息、光學(xué)等領(lǐng)域，為實(shí)現(xiàn)功能陶瓷和晶體材料的應(yīng)有功能，研磨和拋光不可少的。例如半導(dǎo)體集成電路硅基片，鐵氧體磁片，寶石紅外窗口，壓電水晶振子基片。聲表面波期間的鈮酸鋰基片、激光反射鏡，光學(xué)玻璃棱鏡及大型天體望遠(yuǎn)鏡透鏡等均需要用研磨與拋光加工來實(shí)現(xiàn)。研磨與拋光加工涉及的材料有金屬材料，硅等半導(dǎo)體材料，藍(lán)寶石、鈮酸鋰等光電子材料，壓電材料，磁性材料，光學(xué)材料等。
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